оригинал
По сертификации 
высокая чистота ниобия обработанные материалы
iobium обработанные продукты
1. ниобия sputteringtarget, ниобия диск
2. материал: RO4200-1, RO4210-2
3. форма: прямоугольник, циркулярный, вращающийся
4. Размер: труба OD цель L 20-160 мм * L 2000 мм
Круговые цели: диаметр 10 мм до 400 мм толщиной 2 мм до 28 мм
Прямоугольные цели: толщина 1 мм до 20.32mmx шириной до 800 мм x Длина до 3000 мм
Чистота: andgt;=99.99% или 99,95%
Параметр технологии
Рекристаллизация |
95% мин |
Размер зерна |
ASTM 4 или тоньше |
Отделка поверхности |
16Rms Макс. или Ra 0,4 (RMS64 или лучше) |
Плоскостность |
0,1 или 0,15% Макс |
Допуск |
+ /-0 .010andquot; на всех измерениях |
Химический состав:
Химия % | |||||||||||||
Обозначение |
Главный компонент |
Примеси максимум |
|||||||||||
NB |
Fe |
Si |
Ni |
W |
МО |
Ti |
TA |
O |
C |
H |
N |
||
Nb1 |
Остаток |
0.004 |
0.003 |
0.002 |
0.004 |
0.004 |
0.002 |
0.07 |
0.015 |
0.004 |
0.0015 |
0.002 |
|
Nb2 |
Остаток |
0.02 |
0.02 |
0.005 |
0.02 |
0.02 |
0.005 |
0.15 |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
